X線回析(XRD)
X線回折(XRD)測定時には、X線管および検出器を低角度から高角度へ、θ - θ の関係(Fig.1参照)を保ちながら順次ステップアップさせ、回折強度を記録します。
Bragg の回折条件 2dsinθ = nλで、波長λの単色化は、一般のX線回折装置はモノクロメーターやフィルターを使用しますが、XRDFでは、半導体検出器とMCA(マルチチャンネルアナライザー)を使ってX線回折に必要なエネルギー(波長)のX線データだけを取り出します。
つまり、試料にX線を照射して得られたスペクトルのうち、照射(1次)X線に含まれる特性X線(Cr管球ならCr Kα線)に割り当てられているチャンネルのみを選択し、角度ごとに強度をプロットすることでX線回折図形を得ます。